ปัจจุบัน ช่วงความดันที่เกี่ยวข้องกับเทคโนโลยีสุญญากาศคือ 105Pa~10-13Pa ช่วงแรงดันที่กว้างเช่นนี้ไม่สามารถทำได้ด้วยอุปกรณ์สูญญากาศทุกชนิด—ปั๊มสุญญากาศเพียงอย่างเดียว ดังนั้นจึงจำเป็นต้องรับรู้ด้วยปั๊มสุญญากาศที่มีโครงสร้างต่างกัน ตามหลักการทำงาน มีการอธิบายปั๊มสุญญากาศหลายประเภท

ปั๊มที่ใช้การเคลื่อนไหวทางกล เช่น การหมุนหรือการเลื่อนเพื่อให้ได้สุญญากาศ เรียกว่า ปั๊มสุญญากาศเชิงกล ซึ่งสามารถแบ่งออกเป็นประเภทต่อไปนี้:
(1) ปั๊มสุญญากาศแบบลูกสูบ เป็นปั๊มสุญญากาศปริมาตรที่บีบอัดและปล่อยก๊าซโดยการเคลื่อนที่แบบลูกสูบของลูกสูบในห้องปั๊ม สูญญากาศขั้นสูงสุด: ขั้นตอนเดียวประมาณ 103Pa; สองขั้นตอนประมาณ 10Pa อัตราการสูบน้ำคือ 45m3 / h ~ 20000m3 / h

(2) ปั๊มสุญญากาศวงแหวนน้ำ เป็นปั๊มสุญญากาศที่ใช้วงแหวนน้ำเพื่อหมุนและเปลี่ยนปริมาตร สูญญากาศขั้นสูงสุด: ขั้นตอนเดียวประมาณ 103Pa; สองขั้นตอนประมาณ 102Pa อัตราการสูบน้ำคือ 0.25m3 / h ~ 500m3 / h

(3) ปั๊มสุญญากาศแบบโรตารี่ที่ปิดผนึกด้วยน้ำมัน เป็นปั๊มที่รักษาซีลด้วยน้ำมันและใช้ลูกเบี้ยวประหลาดที่หมุนเพื่อหมุนในกระบอกสูบเพื่อสูบลม รวมถึงปั๊มสุญญากาศสเตเตอร์ ปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุน ปั๊มสุญญากาศวาล์วสไลด์ และปั๊มสุญญากาศโทรคอยด์ ในเทคโนโลยีการสะสมไอ มีการใช้ปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุนเป็นจำนวนมาก และระดับสุญญากาศสูงสุดคือประมาณ 10-1Pa (ขั้นตอนเดียว) และ 10-2Pa (ขั้นตอนคู่) อัตราการสูบน้ำคือ 1L/s~500L/S นอกจากนี้ ยังใช้ปั๊มสุญญากาศแบบวาล์วสไลด์ และระดับสุญญากาศสูงสุดคือประมาณ 10Pa (ขั้นตอนเดียว) และ 10-1Pa (สองขั้นตอน) อัตราการสูบน้ำ 1L/S~600L/s

(4) ปั๊มสุญญากาศราก . เป็นปั๊มสุญญากาศแบบปรับปริมาตรได้แบบโรตารี่ที่มีโรเตอร์แบบห้อยเป็นตุ้มหรือหลายแฉกสองตัวที่หมุนไปในทิศทางตรงกันข้ามในปั๊ม และยังคงรักษาช่องว่างไว้ระหว่างโรเตอร์และระหว่างโรเตอร์กับผนังด้านในของปลอกปั๊ม ปั๊มมีความเร็วการสูบสูงระหว่าง 102Pa ถึง 1Pa ซึ่งสามารถชดเชยความเร็วการสูบที่ไม่เพียงพอของปั๊มกลไกแบบโรตารี่และปั๊มกระจายน้ำมันในช่วงแรงดันนี้ ปั๊มแรงดัน สูญญากาศสูงสุดของมันคือประมาณ 10-2Pa อัตราการสูบน้ำคือ 15L/s~40000L/s ไม่สามารถใช้ปั๊มรากเพียงตัวเดียวได้ และต้องใช้ควบคู่กับปั๊มสำรอง

(5) ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ เป็นปั๊มสุญญากาศแบบกลไกสูงที่ติดตั้งแผ่นดิสก์แบบ slotted หรือใบพัดแบบมีใบพัด โรเตอร์หมุนระหว่างแผ่นดิสก์ที่สอดคล้องกันของสเตเตอร์ และความเร็วเชิงเส้นจะหมุนในลำดับความสำคัญเดียวกันกับโมเลกุลของแก๊ส การทำงานปกติของปั๊มเหมาะสมกับสถานะการไหลของโมเลกุล สุญญากาศขั้นสุดท้ายอยู่ที่ประมาณ 10-8Pa หรือสูงกว่า และอัตราการสูบโดยทั่วไปจะต่ำกว่า 5000L/s.