ปั๊มสุญญากาศ มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการอบแห้งแบบสุญญากาศ การอบแห้งแบบสุญญากาศที่เรียกว่าเป็นวิธีการวางวัสดุภายใต้สภาวะแรงดันลบ และให้ความร้อนอย่างเหมาะสมเพื่อให้ถึงจุดเดือดภายใต้สภาวะแรงดันลบ หรือทำให้วัสดุเย็นลงเพื่อทำให้วัสดุแข็งตัวแล้วทำให้แห้งผ่านจุดหลอมเหลว วิธีการทำให้วัสดุแห้ง จุดหลอมเหลวและจุดเดือดของน้ำในวัสดุจะลดลงเมื่อระดับสุญญากาศเพิ่มขึ้นภายใต้สภาวะแรงดันลบ ในขณะเดียวกัน ปั๊มสุญญากาศถูกใช้เพื่อลดความชื้นในช่องว่างเพื่อลดปริมาณไอน้ำ เพื่อให้น้ำและสารละลายอื่นๆ ในวัสดุได้รับพลังงานจลน์มากพอที่จะแยกออกจากพื้นผิวของวัสดุ เนื่องจากการแยกตัวของอากาศภายใต้แรงดันลบ การทำให้แห้งด้วยสุญญากาศสามารถรักษาลักษณะดั้งเดิมของวัสดุบางชนิดที่ออกซิไดซ์ได้ง่ายและการเปลี่ยนแปลงทางเคมีอื่นๆ ในระหว่างกระบวนการทำให้แห้งได้ดีขึ้น นอกจากนี้ยังสามารถปกป้องวัสดุได้ดียิ่งขึ้นด้วยการฉีดก๊าซเฉื่อยแล้วทำการดูดฝุ่น อุปกรณ์ทำแห้งแบบสุญญากาศทั่วไปประกอบด้วย: เตาอบทำให้แห้งแบบสุญญากาศ อุปกรณ์ทำให้แห้งแบบสุญญากาศแบบต่อเนื่อง เป็นต้น

กระบวนการอบแห้งแบบสุญญากาศคือการวางวัสดุแห้งไว้ในห้องอบแห้งแบบปิด ในขณะที่ดูดฝุ่นด้วยระบบสุญญากาศ วัสดุที่จะอบแห้งจะได้รับความร้อนอย่างต่อเนื่อง เพื่อให้ความชื้นภายในวัสดุกระจายสู่พื้นผิวผ่านความแตกต่างของความดันหรือความแตกต่างของความเข้มข้น และโมเลกุลของน้ำจะอยู่บนผิวของวัสดุ หลังจากได้รับพลังงานจลน์เพียงพอ หลังจากเอาชนะแรงดึงดูดระหว่างโมเลกุลแล้ว พวกมันจะหนีเข้าไปในช่องว่างความดันต่ำของห้องสุญญากาศ และจากนั้นจะถูกปั๊มสุญญากาศสูบออกไป เดอะ

ในระหว่างกระบวนการอบแห้งแบบสุญญากาศ ความดันในห้องอบแห้งจะต่ำกว่าความดันบรรยากาศเสมอ จำนวนโมเลกุลของก๊าซมีขนาดเล็ก ความหนาแน่นต่ำ และปริมาณออกซิเจนต่ำ ดังนั้นจึงสามารถอบแห้งวัสดุที่ออกซิไดซ์ได้ง่าย และสินค้าอันตรายที่ไวไฟและระเบิดได้เสื่อมสภาพ ฯลฯ สามารถมีบทบาทบางอย่างในการฆ่าเชื้อและฆ่าเชื้อยา อาหาร และผลิตภัณฑ์ทางชีวภาพ และสามารถลดโอกาสการปนเปื้อนของวัสดุหรือยับยั้งการเจริญเติบโตของแบคทีเรียบางชนิด

เนื่องจากอุณหภูมิของน้ำในกระบวนการกลายเป็นไอเป็นสัดส่วนโดยตรงกับความดันไอ ความชื้นในวัสดุสามารถกลายเป็นไอได้ที่อุณหภูมิต่ำระหว่างการอบแห้งแบบสุญญากาศ และสามารถทำให้แห้งที่อุณหภูมิต่ำได้ ซึ่งเป็นประโยชน์ต่อการอบแห้งวัสดุที่ไวต่อความร้อนในยาบางชนิด อาหาร และผลพลอยได้ทางการเกษตร