ความล้มเหลวของระบบสูญญากาศของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์โดยทั่วไปแบ่งออกเป็นสองประเภท: หนึ่งคือความล้มเหลวของหน่วยปั๊มสุญญากาศ DVE และระบบการวัด และอีกอย่างคือการรั่วไหลของระบบสูญญากาศ

สำหรับความล้มเหลวประเภทแรก ให้ตรวจสอบสุญญากาศขั้นสูงสุดของปั๊มสุญญากาศ DVE หรือเปลี่ยนเกจสุญญากาศเพื่อยืนยัน สำหรับความล้มเหลวประเภทที่สอง จำเป็นต้องมีการตรวจจับการรั่วไหล มักใช้วิธีสองวิธีในการตรวจจับรอยรั่วของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: การตรวจจับการรั่วไหลของแรงดันสถิตและการตรวจจับการรั่วของ He Mass spectrometry

วิธีการตรวจจับการรั่วไหลของแรงดันสถิตคือการแยกห้องสุญญากาศออกจากกลุ่มปั๊มสุญญากาศ DVE ด้วยวาล์ว และวัดการเปลี่ยนแปลงของแรงดันภายใน การตรวจจับการรั่วไหลของมวลสารมีความซับซ้อนมากขึ้น โดยทั่วไปแล้ว เครื่องตรวจจับการรั่วของ He Mass Spectrometer จะต้องถูกนำไปยังไซต์งาน มีปั๊มโมเลกุลอยู่ในเครื่องตรวจจับรอยรั่ว โปรดจัดการด้วยความระมัดระวัง วิธีการตรวจจับรอยรั่วที่มีความไวสูงมักใช้เพื่อตรวจจับการรั่ว ซึ่งเป็นประโยชน์ในการปกป้องปั๊มระดับโมเลกุล เครื่องตรวจจับการรั่วไหลมีความสามารถในการสกัดอากาศที่จำกัด ดังนั้นจึงจำเป็นต้องดูดฝุ่นจากตัวอุปกรณ์เอง ดูดฝุ่นไปที่ 0.5~10Pa รอจนกว่าอัตราการรั่วไหลจะคงที่หรือเปลี่ยนจากเสถียรเป็นลดลงก่อนเริ่มการตรวจจับการรั่วไหล

ในกระบวนการตรวจจับการรั่วไหล หากคุณต้องการใช้งานวาล์วประตู วาล์วหยาบ วาล์วไล่ลม ฯลฯ ก่อนอื่นคุณต้องหยุดเครื่องตรวจจับการรั่วไหลจากการตรวจจับการรั่วและเลือกพอร์ตการตรวจจับการรั่วไหลที่จะไม่ระบายออก เพื่อป้องกัน ห้องสุญญากาศจากก๊าซปริมาณมากเข้าอย่างกะทันหัน และทำให้การตรวจสอบรั่วมิเตอร์เสียหาย

หลังจากปั๊มสุญญากาศแล้ว ควรปิดวาล์วประตูและวาล์วสูบน้ำแบบหยาบเพื่อหลีกเลี่ยงการเบี่ยงเบนทำให้ค่าการวัดอัตราการรั่วของสุญญากาศน้อยกว่าค่าจริง ทางที่ดีควรหยุดปั๊มโมเลกุลและปั๊มเชิงกลบนอุปกรณ์เพื่อหลีกเลี่ยงการรบกวน อุปกรณ์ที่มีปั๊มเย็นควรหยุดปั๊มเย็นให้สนิทหากต้องการตรวจจับรอยรั่ว

เมื่อใช้วิธีสูญญากาศเพื่อตรวจจับอัตราการรั่วไหลของผลิตภัณฑ์โครงสร้างที่ปิดผนึกสองชั้น อัตราการรั่วไหลมักจะเพิ่มขึ้นอย่างช้าๆ ดังนั้นให้ใส่ใจกับจุดนี้ในกระบวนการตรวจจับการรั่วไหล นอกจากนี้ ถุง He จะต้องไม่รั่วไหล และโดยทั่วไปต้องใช้อัตราการไหล สิ่งนี้มีประโยชน์ในการยืนยันตำแหน่งของจุดรั่ว แต่มีบางกรณีพิเศษที่ต้องฉีดพ่น He มากขึ้นในบางสถานที่ซึ่งเขาเข้าถึงได้ยากเพื่อหลีกเลี่ยงการตรวจจับที่พลาดไป เครื่องเป่าลมที่ติดตั้งระหว่างการตรวจจับรอยรั่วไม่สามารถทดสอบรอยรั่วได้ หลังจากพบรอยรั่ว ต้องทำการยืนยันครั้งที่สอง และต้องยืนยันรอยรั่วอีกครั้งหลังจากซ่อมแซมรอยรั่วแล้ว

ชิ้นส่วนสูญญากาศของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มีหลายส่วน หากชิ้นส่วนมีอัตราการรั่วไหลมาก จะทำให้ปั๊มสุญญากาศระดับสูงล้มเหลวได้ง่าย ความล้มเหลวของสูญญากาศที่ยากลำบากของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ส่วนใหญ่เกิดจากการรั่วขนาดเล็กซึ่งทำให้สูญญากาศสูงล้มเหลว ความยากลำบากในการตรวจจับรอยรั่วของสุญญากาศคือการใส่ใจในรายละเอียดของการทำงานและอดทน นอกจากนี้ ต้องมีที่ว่างสำหรับเลือกนาฬิกาสูญญากาศสูงที่ผลิตในประเทศ มิฉะนั้น ระดับสูญญากาศสูงที่ต้องการจะไม่แสดงขึ้น
th.dvevacuum.com