ปั๊มสุญญากาศ DVE ชนิดน้ำมันมักใช้ปั๊มสุญญากาศ DVE ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ คุณสมบัติหลักคือสุญญากาศสูง ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการกระบวนการพิเศษของอุตสาหกรรมใหม่ ในหมู่พวกเขา ปั๊มสุญญากาศ DVE ใบพัดหมุนและปั๊มสุญญากาศ DVE แบบลูกสูบเป็นตัวแทนหลัก

เมื่อเวลาผ่านไปและความก้าวหน้าของสังคม ผลงานของพวกเขาในการใช้งานที่หลากหลายได้กลายเป็นที่พอใจของผู้คนน้อยลงเรื่อยๆ ตัวอย่างเช่น ปั๊มสุญญากาศ DVE ใบพัดหมุนไม่สามารถสูบไอน้ำ ก๊าซควบแน่น และก๊าซกัดกร่อน ฯลฯ ดังนั้น ปั๊มสุญญากาศ DVE แบบแห้งจึงเกิดขึ้น

ในช่วงสิบปีที่ผ่านมา มีการออกแบบและผลิตปั๊มสุญญากาศ DVE แบบแห้งหลายประเภท และมีความแตกต่างที่ชัดเจนในการออกแบบโครงสร้างทางกล เนื่องจากความแตกต่างนี้ เราจึงสามารถสรุปปั๊มสุญญากาศ DVE แบบแห้งเป็นประเภทต่อไปนี้ได้: แบบแยกส่วนแบบกลม, แบบก้ามปู, แบบผสม (แบบก้ามปูแบบรูท), แบบสกรู วันนี้ผู้ผลิตหลายรายใช้ประเภทเหล่านี้กันอย่างแพร่หลาย

ในหมู่พวกเขาประเภทแยกกลมประเภทกรงเล็บและประเภทรวม (กรงเล็บราก) เรียกว่าปั๊มหลายขั้นตอน เนื่องจากพวกมันทำงานในลักษณะเดียวกันโดยประมาณ พวกเขาทั้งหมดจึงใช้ห้องสุญญากาศแบบหลายขั้นตอนเพื่ออัดแก๊สซ้ำๆ เพื่อสร้างสุญญากาศ ในกระบวนการอัดซ้ำ อุณหภูมิและความดันของแก๊สยังทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงที่ซับซ้อนมากขึ้น ดังนั้นจึงทำให้เกิดการเปลี่ยนแปลงในคุณสมบัติทางกายภาพของแก๊สได้ง่ายขึ้น

ประเภทสกรูเรียกว่าปั๊มแบบขั้นตอนเดียวเนื่องจากใช้เฉพาะห้องสุญญากาศเพื่อสร้างสุญญากาศ ตามวิธีการอัดแก๊สที่แตกต่างกัน มันสามารถแบ่งออกเป็นปั๊มสกรูชนิดอัดภายในและปั๊มสกรูชนิดอัดภายนอก